텅스텐 전구체, 이를 이용한 텅스텐 박막 증착 방법 및 증착 장치 본문 Inventor 이원준, HIDAYAT ROMEL, 김예원 등록번호 10-2847592 출원국가 대한민국 기관 세종대학교산학협력단 목록 다음글텅스텐 전구체, 이를 이용한 텅스텐 박막 증착 방법 및 증착 장치 25.10.27
