텅스텐 전구체, 이를 이용한 텅스텐 박막 증착 방법 및 증착 장치
본문
- Inventor
- 이원준, HIDAYAT ROMEL, 노현수
- 등록번호
- 10-2841546
- 출원국가
- 대한민국
- 기관
- 세종대학교산학협력단
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연구성과
세종대학교 지능형 반도체 인력양성 사업단
연구성과
세종대학교 지능형 반도체 인력양성 사업단